TEOS 等のCVD 材料は、半導体製造工程に於いて、薄膜生成のための不可欠の材料であり、ここに紹介致します製品及びグレードの他、多種の規格にあった製品を提供し、お客様のご要望に応えています。
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| ケイ酸エチル(TEOS) | CVD材料用容器 |
仕様
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製品名 | 英語名 |
化学式 | 純度 |
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| 珪酸エチル | Tetraethyl Orthosilicate | TEOS | 99.99999%〜99.999999% |
| 硼酸トリエチル | Triethyl Borate | TEB | 99.99999% |
| 燐酸トリエチル | Triethyl Phosphate | TEPO | 99.99999% |
| 硼酸トリメチル | Trimethyl Borate | TMB | 99.99999% |
| 燐酸トリメチル | Trimethyl Phosphate | TMPO | 99.99999% |
| 亜燐酸トリメチル | Trimethyl Phosphite | TMPI | 99.99999% |
| オキシ塩化燐 | Phosphorus Oxychloride | POCl3 | 99.9999% |
| 三臭化硼素 | Boron Tribromide | BBr3 | 99.9999% |
| 四塩化チタン | Titanium Tetrachloride | TiCl4 | 99.9999% |
| メチルトリクロロシラン | Methyltrichlorosilane | CH3SiCl3 | 99.9999% |
| 四塩化珪素 | Silicon Tetrachloride | SiCl4 | 99.9999% |
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